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代理德國Thyracont組合式真空計(jì)VSR53赫爾納供應(yīng)
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國的真空測量設(shè)備制造企業(yè)。該公司始于1970年，致力于真空測量技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)，其產(chǎn)品對許多未來技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。Thyracont的業(yè)務(wù)涵蓋真空傳感器、真空計(jì)、真空開關(guān)、控制器及相關(guān)真空組件的供應(yīng)，并為真空泵和真空處理設(shè)備制造商提供產(chǎn)品。其產(chǎn)品應(yīng)用于流程工業(yè)、涂層、分析與研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽能等多個領(lǐng)域。
Thyracont主要產(chǎn)品類型
1. 真空計(jì)(Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器(Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guān)(Vacuum Switches)
4. 控制器(Controllers)
5. 數(shù)字真空表(Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器(Vacuum Transducers)
7. 真空系統(tǒng)控制器(Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件(Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSR53系列 (組合式壓阻/皮拉尼真空變送器，含VSR53D, VSR53DL, VSR53E等型號)
2. VD8系列(便攜式數(shù)字真空計(jì)，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列(冷陰極真空計(jì))
4. VD6(單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12(雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC(電子真空開關(guān))
7. Smartline系列(數(shù)字真空變送器)
8. VD800(緊湊型真空計(jì))
代理德國Thyracont組合式真空計(jì)VSR53產(chǎn)品介紹
VSR53是Thyracont公司生產(chǎn)的一款組合式壓阻（Piezo）和皮拉尼（Pirani）原理的智能數(shù)字真空變送器，用于從粗真空到高真空范圍的絕對壓力（Absolute Pressure）測量。
技術(shù)參數(shù)
特性 | 參數(shù)值 |
測量原理 | 壓阻式 (Piezo) / 皮拉尼 (Pirani) 組合傳感器 |
測量范圍 | 1200–1×10??mbar(約900–1×10??Torr) |
精度 | 1200-10mbar:±0.3%滿量程；10-2×10?3mbar:±10%讀數(shù) |
響應(yīng)時間 | < 30ms(壓阻部分,1200-10mbar)；<100ms(皮拉尼部分,10-2×10?3mbar) |
輸出信號 | 0-10VDC(對數(shù)輸出，測量范圍1.5-8.58V)；RS485串行接口；部分型號支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20– 30VDC |
真空接口 | DN16ISO-KF(VSR53系列) |
接觸真空材料 | 不銹鋼1.4307,鎢,鎳,玻璃,金,氧化硅 |
過載保護(hù) | 可達(dá)4bar(絕對壓力) |
工作溫度 | +5°C至+60°C |
防護(hù)等級 | IP40(VSR53D/DL)或IP54(VSR53E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D15針(VSR53D/DL)或M12連接器(VSR53E) |
重量 | 約195g(VSR53D)或220g |
工作原理
VSR53采用了組合傳感器技術(shù)，集成了壓阻（Piezo）傳感器和皮拉尼（Pirani）傳感器。壓阻傳感器基于壓阻效應(yīng)，適用于較高壓力（粗真空）范圍，其測量結(jié)果與氣體類型無關(guān)。皮拉尼傳感器基于氣體導(dǎo)熱原理，適用于中低真空范圍，其測量結(jié)果會受氣體類型影響，但可通過可調(diào)氣體類型校正系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。內(nèi)置的微處理器自動控制兩個傳感器之間的切換與數(shù)據(jù)融合，從而實(shí)現(xiàn)從大氣壓到高真空的寬范圍連續(xù)測量，并提供經(jīng)過溫度和氣體類型補(bǔ)償?shù)男盘栞敵觥?/span>
優(yōu)勢特點(diǎn)
1. 寬范圍測量與自動切換：結(jié)合壓阻和皮拉尼兩種原理，實(shí)現(xiàn)了從1200mbar到0.0001mbar的寬量程覆蓋，并能自動在不同真空度區(qū)間切換傳感器工作。
2. 測量性能與穩(wěn)定性：在粗真空段（1200-10mbar）具有±0.3%FS的精度和±0.1%FS的重復(fù)性。采用優(yōu)化的溫度補(bǔ)償技術(shù)，有助于保證測量的穩(wěn)定性。傳感器探頭設(shè)計(jì)為可更換式。
3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與防護(hù)：采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于高真空（UHV）應(yīng)用。金屬篩網(wǎng)可保護(hù)燈絲防止油或溶劑蒸氣污染。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護(hù)等級，適應(yīng)工業(yè)環(huán)境。
4. 接口豐富與集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數(shù)字接口，部分型號支持EtherCAT或Profinet現(xiàn)場總線，便于連接PLC和控制系統(tǒng)。提供兩個獨(dú)立的無電勢繼電器開關(guān)點(diǎn)，可用于過程控制或報警。
主要應(yīng)用
VSR53真空變送器可應(yīng)用于多個需要寬范圍真空測量與控制的領(lǐng)域，例如：
1. 分析儀器：用于質(zhì)譜儀等精密分析儀器中真空度的監(jiān)控。
2. 真空爐與熱處理：用于真空熱處理的壓力監(jiān)控與控制。
3. 泄漏檢測：用于真空系統(tǒng)密封性的檢漏工作。
4. 過程工程：用于化工、制藥等流程工業(yè)中涉及真空過程的設(shè)備。
5. 真空系統(tǒng)的安全電路：作為真空系統(tǒng)安全聯(lián)鎖的一部分，監(jiān)測壓力狀態(tài)。
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